ASML首台新款EUV光刻机Twinscan NXE:3800E完成安装
智能科技 2024-03-13215069852srtt
3 月 13 日消息,光刻机制造商 ASML 宣布其首台新款 EUV 光刻机 Twinscan NXE:3800E 已完成安装,新机型将带来更高的生产效率。
ASML 在 X 平台上的相关动态
IT之家查询发现,ASML 官网尚未上线 Twinscan NXE:3800E 的信息页面。
除了正在研发的 High-NA EUV 光刻机 Twinscan EXE 系列,ASML 也为其 NXE 系列传统数值孔径 EUV 光刻机持续更新升级,未来目标在 2025 年推出 NXE:4000F 机型。
上两代 NXE 系列机型 3400C 和 3600D 分别适合 7~5、5~3 纳米节点生产,德媒 ComputerBase 因此预测 3800E 有望支持 3~2 纳米的尖端制程。
根据 ASML 此前分享的 2021 版路线图,Twinscan NXE:3800E 系统将相较上代 3600D 在对准精度(Overlay)和产能上进一步提升,可实现 195 片晶圆的每小时吞吐量,相较 3600D 的 160 片大幅提升近 22%,并有望达到 220 片的目标(对应提升 37.5%)。
2021 年版 ASML 光刻机路线图。
【来源:IT之家】
The End
相关阅读
- 特斯拉将在佛罗里达州建全球最大超级充电站,提供超200个充电桩
- 两位顶级世界富豪“约架”要泡汤?扎克伯格自曝膝韧带撕裂,两天前马斯克曾再次喊话
- 消息称雷诺、吉利2月有望敲定发动机合作事宜,将创造近 2 万个工作岗位
- 苹果与谷歌就人工智能洽谈合作:将Gemini引入iPhone
- 财报远超市场预期 京东市值一夜飙升389亿元!大涨16%
- 苹果可能计划在iOS 18的地图中添加对“定制路线”的支持
- OpenAI军事领域禁用规则删除,“潘多拉魔盒打开”?
- 不限于 iPhone!曝苹果 Mac 也要上灵动岛 就差 iPad 登岛了
- 副总裁董宇辉:比管理者更重要的是好的服务者,孙东旭曾劝:“不要再幻想做管理”
- 都买新能源车了,为何还是被变速箱伤透了心?